4,099 matches
-
50 eV și pot părăsi proba numai dacă sunt produși la o adâncime de cel mult 500 Å. Ei oferă informații despre topografia suprafeței probei, despre distribuția câmpurilor electrice și despre domeniile magnetice, cu o rezoluție tipică de 100 Ǻ; * electronii retroîmprăștiați au energii mari, între 50 eV și energia electronilor incidenți. Ei pot să emeargă din probă de la o adâncime de max. 1000 Å; oferă informații despre topografia suprafeței și în special despre natura chimică a diferitelor zone din probă
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
la o adâncime de cel mult 500 Å. Ei oferă informații despre topografia suprafeței probei, despre distribuția câmpurilor electrice și despre domeniile magnetice, cu o rezoluție tipică de 100 Ǻ; * electronii retroîmprăștiați au energii mari, între 50 eV și energia electronilor incidenți. Ei pot să emeargă din probă de la o adâncime de max. 1000 Å; oferă informații despre topografia suprafeței și în special despre natura chimică a diferitelor zone din probă. Rezoluția tipică obținută cu electronii reflectați este de 1000 Ǻ
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
între 50 eV și energia electronilor incidenți. Ei pot să emeargă din probă de la o adâncime de max. 1000 Å; oferă informații despre topografia suprafeței și în special despre natura chimică a diferitelor zone din probă. Rezoluția tipică obținută cu electronii reflectați este de 1000 Ǻ. * radiația X caracteristică oferă informații calitative și cantitative despre compoziția chimică a probei. Analiza poate fi făcută global sau pe microarii. Adâncimea de la care se pot obține informații este de maxim 5 µm; * dacă proba
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
Ǻ. * radiația X caracteristică oferă informații calitative și cantitative despre compoziția chimică a probei. Analiza poate fi făcută global sau pe microarii. Adâncimea de la care se pot obține informații este de maxim 5 µm; * dacă proba este legată la masă electronii absorbiți pot produce un curent de electroni absorbiți. Intensitatea acestui curent depinde de natura atomilor din probă, de grosimea probei și de orientarea ei față de axa fasciculului incident. Curentul de electroni absorbiți oferă informații despre topografia suprafeței și despre compoziția
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
și cantitative despre compoziția chimică a probei. Analiza poate fi făcută global sau pe microarii. Adâncimea de la care se pot obține informații este de maxim 5 µm; * dacă proba este legată la masă electronii absorbiți pot produce un curent de electroni absorbiți. Intensitatea acestui curent depinde de natura atomilor din probă, de grosimea probei și de orientarea ei față de axa fasciculului incident. Curentul de electroni absorbiți oferă informații despre topografia suprafeței și despre compoziția chimică a probei, cu o rezoluție tipică
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
maxim 5 µm; * dacă proba este legată la masă electronii absorbiți pot produce un curent de electroni absorbiți. Intensitatea acestui curent depinde de natura atomilor din probă, de grosimea probei și de orientarea ei față de axa fasciculului incident. Curentul de electroni absorbiți oferă informații despre topografia suprafeței și despre compoziția chimică a probei, cu o rezoluție tipică de 500 Ǻ. * electronii transmiși prin probă, mai rar utilizați în SEM, pot oferi informații despre structura cristalină a probei și despre compoziția chimică
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
curent depinde de natura atomilor din probă, de grosimea probei și de orientarea ei față de axa fasciculului incident. Curentul de electroni absorbiți oferă informații despre topografia suprafeței și despre compoziția chimică a probei, cu o rezoluție tipică de 500 Ǻ. * electronii transmiși prin probă, mai rar utilizați în SEM, pot oferi informații despre structura cristalină a probei și despre compoziția chimică și aceasta deoarece pierderea de energie a acestor electroni are maxime caracteristice speciilor atomice pe care a avut loc împrăștierea
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
compoziția chimică a probei, cu o rezoluție tipică de 500 Ǻ. * electronii transmiși prin probă, mai rar utilizați în SEM, pot oferi informații despre structura cristalină a probei și despre compoziția chimică și aceasta deoarece pierderea de energie a acestor electroni are maxime caracteristice speciilor atomice pe care a avut loc împrăștierea neelastică a electronilor; * catodoluminiscența poate da informații asupra distribuției în probă a unor elemente favorizante fenomenului. De asemenea, permite studiul stărilor de suprafață, obținându-se informații privind timpul de
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
probă, mai rar utilizați în SEM, pot oferi informații despre structura cristalină a probei și despre compoziția chimică și aceasta deoarece pierderea de energie a acestor electroni are maxime caracteristice speciilor atomice pe care a avut loc împrăștierea neelastică a electronilor; * catodoluminiscența poate da informații asupra distribuției în probă a unor elemente favorizante fenomenului. De asemenea, permite studiul stărilor de suprafață, obținându-se informații privind timpul de viață al purtătorilor majoritari de sarcină și asupra adâncimii de difuzie a elementelor active
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
timpul de viață al purtătorilor majoritari de sarcină și asupra adâncimii de difuzie a elementelor active din materialele semiconductoare. 2.3. Microscopul electronic de baleiaj Schema de principiu a MSE-ului (figura 3) este prezentată în figura 4. Fasciculul de electroni are o traiectorie verticală prin coloana principală a microscopului. El trece printr-un sistem de lentile, care-l focalizează și concentrează pe suprafața probei, până la secțiuni de ordinul 1÷5 nm în diametru. Fasciculul traversează o serie de spirale de
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
probei, până la secțiuni de ordinul 1÷5 nm în diametru. Fasciculul traversează o serie de spirale de scanare situate în lentila obiectiv, care determină mișcarea de baleiere a fasciculul pe o arie dreptunghiulară de pe proba de analizat. De îndată ce fascicolul de electroni lovește suprafața probei electronii retrodifuzați și cei secundari încep să fie expulzați din probă. Detectorii îi captează și-i transformă intr-un semnal, care este trimis pe un ecran similar cu cel al unui televizor clasic, unde se formează imaginea
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
ordinul 1÷5 nm în diametru. Fasciculul traversează o serie de spirale de scanare situate în lentila obiectiv, care determină mișcarea de baleiere a fasciculul pe o arie dreptunghiulară de pe proba de analizat. De îndată ce fascicolul de electroni lovește suprafața probei electronii retrodifuzați și cei secundari încep să fie expulzați din probă. Detectorii îi captează și-i transformă intr-un semnal, care este trimis pe un ecran similar cu cel al unui televizor clasic, unde se formează imaginea. Proba este așezată în
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
este așezată în camera probei, într-un suport special, care permite 5 grade de libertate: două de rotație și trei de translație. Componentele microscopului electronic cu baleiaj pot fi grupate în patru sisteme: * sistemul de iluminare/imagine - produce fasciculul de electroni și-1 focalizează pe probă. Fasciculul de electroni este produs de un filament (catod), cel mai adesea acesta fiind sub formă de „U”, din tungsten. Anodul, legat la pământ, atrage electronii emiși de catod și îi accelerează spre proba de
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
special, care permite 5 grade de libertate: două de rotație și trei de translație. Componentele microscopului electronic cu baleiaj pot fi grupate în patru sisteme: * sistemul de iluminare/imagine - produce fasciculul de electroni și-1 focalizează pe probă. Fasciculul de electroni este produs de un filament (catod), cel mai adesea acesta fiind sub formă de „U”, din tungsten. Anodul, legat la pământ, atrage electronii emiși de catod și îi accelerează spre proba de analizat; * sistemul de culegere a informațiilor - culege și
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
patru sisteme: * sistemul de iluminare/imagine - produce fasciculul de electroni și-1 focalizează pe probă. Fasciculul de electroni este produs de un filament (catod), cel mai adesea acesta fiind sub formă de „U”, din tungsten. Anodul, legat la pământ, atrage electronii emiși de catod și îi accelerează spre proba de analizat; * sistemul de culegere a informațiilor - culege și amplifică semnalele fizice produse la interacțiunea electronilor cu proba prin folosirea a diferite tipuri de detectori (de exemplu, pentru electronii secundari sau cei
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
cel mai adesea acesta fiind sub formă de „U”, din tungsten. Anodul, legat la pământ, atrage electronii emiși de catod și îi accelerează spre proba de analizat; * sistemul de culegere a informațiilor - culege și amplifică semnalele fizice produse la interacțiunea electronilor cu proba prin folosirea a diferite tipuri de detectori (de exemplu, pentru electronii secundari sau cei retrodifuzați; * sistemul de formare a imaginii - produce pe cale electronică o imagine convențională a probei; * sistemul de vidare - necesar pentru că proba de analizat și coloana
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
la pământ, atrage electronii emiși de catod și îi accelerează spre proba de analizat; * sistemul de culegere a informațiilor - culege și amplifică semnalele fizice produse la interacțiunea electronilor cu proba prin folosirea a diferite tipuri de detectori (de exemplu, pentru electronii secundari sau cei retrodifuzați; * sistemul de formare a imaginii - produce pe cale electronică o imagine convențională a probei; * sistemul de vidare - necesar pentru că proba de analizat și coloana principală prin care se formează fascicolul de electroni trebuie să se găsească în
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
de detectori (de exemplu, pentru electronii secundari sau cei retrodifuzați; * sistemul de formare a imaginii - produce pe cale electronică o imagine convențională a probei; * sistemul de vidare - necesar pentru că proba de analizat și coloana principală prin care se formează fascicolul de electroni trebuie să se găsească în vid. Procesul de formare a imaginii în SEM, prin cartografierea unei zone din probă pe suprafața unui monitor TV (figura 5), este fundamental diferit fată de procesul formării imaginii în TEM și în MO. Astfel
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
de formare a imaginii în SEM, prin cartografierea unei zone din probă pe suprafața unui monitor TV (figura 5), este fundamental diferit fată de procesul formării imaginii în TEM și în MO. Astfel, dacă în acestea imaginea este formată de electronii, respectiv razele luminoase care parcurg traseul sursă - obiect - imagine (punctele imaginii și ale probei fiind în legătură directă pin intermediul electronilor sau razelor optice), în SEM imaginea nu este formată nici de electronii care provin de la tunul electronic și care
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
diferit fată de procesul formării imaginii în TEM și în MO. Astfel, dacă în acestea imaginea este formată de electronii, respectiv razele luminoase care parcurg traseul sursă - obiect - imagine (punctele imaginii și ale probei fiind în legătură directă pin intermediul electronilor sau razelor optice), în SEM imaginea nu este formată nici de electronii care provin de la tunul electronic și care sunt focalizați pe probă și nici de electronii (sau radiațiile) care emerg din probă în urma interacțiunii electroniprobă. Imaginea în SEM este
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
dacă în acestea imaginea este formată de electronii, respectiv razele luminoase care parcurg traseul sursă - obiect - imagine (punctele imaginii și ale probei fiind în legătură directă pin intermediul electronilor sau razelor optice), în SEM imaginea nu este formată nici de electronii care provin de la tunul electronic și care sunt focalizați pe probă și nici de electronii (sau radiațiile) care emerg din probă în urma interacțiunii electroniprobă. Imaginea în SEM este formată de un al treilea fascicul de electroni, produs de tubul catodic
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
obiect - imagine (punctele imaginii și ale probei fiind în legătură directă pin intermediul electronilor sau razelor optice), în SEM imaginea nu este formată nici de electronii care provin de la tunul electronic și care sunt focalizați pe probă și nici de electronii (sau radiațiile) care emerg din probă în urma interacțiunii electroniprobă. Imaginea în SEM este formată de un al treilea fascicul de electroni, produs de tubul catodic al unui monitor TV. În SEM imaginea este o imagine convențională, abstractă, ea este de
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
este formată nici de electronii care provin de la tunul electronic și care sunt focalizați pe probă și nici de electronii (sau radiațiile) care emerg din probă în urma interacțiunii electroniprobă. Imaginea în SEM este formată de un al treilea fascicul de electroni, produs de tubul catodic al unui monitor TV. În SEM imaginea este o imagine convențională, abstractă, ea este de fapt o hartă a probei, construită electronic. Fasciculul de electroni ajunge la prima bobină de baleiaj și este deflectat față de axa
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
Imaginea în SEM este formată de un al treilea fascicul de electroni, produs de tubul catodic al unui monitor TV. În SEM imaginea este o imagine convențională, abstractă, ea este de fapt o hartă a probei, construită electronic. Fasciculul de electroni ajunge la prima bobină de baleiaj și este deflectat față de axa optică. A doua bobină de baleiaj produce o nouă deflexie, astfel că fasciculul își schimbă direcția și traversează axa optică. Această dublă deflexie face ca fasciculul să baleieze suprafața
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]
-
optică. A doua bobină de baleiaj produce o nouă deflexie, astfel că fasciculul își schimbă direcția și traversează axa optică. Această dublă deflexie face ca fasciculul să baleieze suprafața probei, așezată sub bobinele de baleiaj. În același timp fasciculul de electroni produs de tubul catodic al monitorului TV va baleia suprafața ecranului acestuia. Cele două mișcări de baleiere sunt perfect sincronizate întrucât ele sunt conduse de același generator de baleiaj. Astfel se realizează o corespondență biunivocă între punctele de pe suprafața baleiată
Tehnici de analiză în ingineria materialelor by Ioan Rusu () [Corola-publishinghouse/Science/91606_a_93480]